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過程氣體分析質譜儀
The HPR-30 is a residual gas analyser configured for analysis of gases and vapours in vacuum processes and for vacuum diagnostics.


HPR-30真空過程氣體分析系統(Process Gas Analyser),適用于監測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。

 

·簡潔的桌上型,移動推車或控制臺架結構
·Direct re-entrant流孔板,差式泵,以達到最適宜的靈敏度
·軟離子化技術,分析復雜有機物,或表觀MS研究
·MASsoft軟件控制,或由局域網進行多個系統控制
·氣動閥自動控制;出現電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
·自動、同時數據取得、分析,實時顯示、報警

 

·質量數范圍:   1200 amu(標準配置); 300、510、1000amu可選

·高靈敏度:     5ppb

·取樣壓力:     10-4mbar1mbar 標準配置

                       1mbar30bar 選配

·穩定性好:     24h以上,小于峰高的±0.5%

·過程控制開關

·信號輸入、輸出接口

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