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二次離子質譜探針
The Hiden MAXIM quadrupole SIMS analyser is a state of the art secondary ion mass spectrometer for positive and negative, static, dynamic and neutral analytical applications.

EQS 是差式泵式二次離子質譜(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用最新技術的SIMS 探針,便于連結到現有的UHV表面科學研究反應室。

 

·光柵控制,增強深度分析能力
·所有能量范圍內,離子行程的最小擾動,及恒定離子傳輸
·靈敏度高 / 穩定的脈沖離子計數檢測器




 

·質量數范圍:   300amu,500amu,1000amu

·檢測器:         離子計數探測器、正負離子探測器、10cps

·質量過濾器:   3F四級桿

·桿直徑:         9mm

·最高加熱:      250

·離子源:         電子轟擊,可用于SNMSRGA的單根燈絲

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