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Ar/O2離子槍
The IG20 features a high brightness electron impact gas ion source which is designed specifically for oxygen capability but is also suitable for use with inert and other gases.

Hiden IG20 Ar/O2離子槍(Ion Gun),先進的離子槍,配合SIMS進行材料表面和深度的分析。

 

·靜態、動態SIMS
·俄歇電子譜
·離子束濺射
·表面科學研究
·光柵/ 深度分析

·具有100μm光斑直徑的、0.55 keV能量的強離子束
·高電流密度4.5 mA/cm2
·電子轟擊離子源具有氬和氧離子能力
·掃描線散射和離子束光柵的光學調整功能,用于深度分析
·離子槍的偏移量,用于中性粒子的最佳排斥
·在光柵應用中,束消隱裝置可以快速進行束的轉換
·差式泵源減少室內氣體
·便于更換的雙燈絲
·掃描速度可低至64μs
·SIM EQS 探針一起,可以直接進行光柵速率/區域控制

 

·能量范圍:         500eV ~ 5KeV

·最大電流:         800nA

·最小光斑尺寸:   50μm

·離子源壽命:     1000小時

·法蘭規格:        斜楔法蘭DN-35-CF

·氣源壓力:        0.1~0.5bar至一個大氣壓

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