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原子散亂表面分析儀器
Pascal Sputtering system is suitable For Accurate Multi Layer Deposition,Higher Deposition Rate,Excellent Film Thickness Distribution.

日本Pascal公司的(TOFLAS)原子散亂表面分析儀器是應用于表面分析 & 元素分析的。

 

·表面結構可視覺直觀評估

·完全不受電場和磁場影響in-situ 分析

·單一原子層或結晶尺度的成長監測

·薄膜, 超薄膜, 單層薄膜, 石墨烯 …等絕緣, 半導體 & 金屬

·最表面數層非常靈敏

 

·加熱范圍:                 ~1000

·能適應廣泛的基底材料背景

·不適合高氧氣分壓環境

·激光加熱最高:             ~1300

·獨特的耐高溫能力

·直徑:                    φ10mm

·燈絲加熱:                ~600

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